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? PECVD主要應(yīng)用于氧化硅(SiO?) 和氮化硅(SiN4) 材料的薄膜生長(zhǎng)，工作原理是在低壓引入高頻射頻電源，采取電容耦合方式使工藝氣體電離放電，形成等離子體狀態(tài)，產(chǎn)生大量的活性基團(tuán)，這些活性基團(tuán)在襯底材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并沉積到襯底表面，生長(zhǎng)出氧化硅(SiO?) 或氮化硅(SiN4) 薄膜
◆ 主要用于半導(dǎo)體器件退火及燒結(jié)等工藝，可進(jìn)行真空、氣體保護(hù)等 ◆ 設(shè)備結(jié)構(gòu)新穎,操作方便 ◆ 在一臺(tái)設(shè)備上可以完成多個(gè)工藝流程
◆ 氣相外延是一種單晶薄層生長(zhǎng)方法 ◆ 氣相外延廣義上是化學(xué)氣相沉積的一種特殊方式，其生長(zhǎng)薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù)，而且與襯底的晶向保持對(duì)應(yīng)的關(guān)系 ◆ 在半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的發(fā)展中，氣相外延發(fā)揮了重要作用 ◆ 砷化蹤(GaAs)氣相外延技術(shù)生長(zhǎng)的砷化鯨(GaAs)純度高、電學(xué)特性好，廣泛的應(yīng)用于霍爾器件、耿氏二極管、場(chǎng)效應(yīng)晶體管等微波器件中
◆ 直拉法晶體生長(zhǎng)專用設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)在高壓、真空和保護(hù)氣氛下直拉生長(zhǎng)晶體 ◆ 采用自動(dòng)稱重結(jié)構(gòu)，在保證晶體品質(zhì)的前提下實(shí)現(xiàn)了直拉晶體的自動(dòng)生長(zhǎng)過(guò)程
◆ 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分 ◆ 工作在常壓氣氛或真空條件，通過(guò)控制生長(zhǎng)工藝，既可以生長(zhǎng)出六邊形的石墨烯單晶，也可以生長(zhǎng)出花瓣?duì)畹氖┑膯尉?