+
  • MPCVD(金剛石).1.jpg

MPCVD設(shè)備


所屬分類:

第三代半導體工藝設(shè)備


概要:

? 微波等離子化學氣相沉積技術(shù)(MPCVD) , 通過等離子增加前驅(qū)體的反應(yīng)速率,降低反應(yīng)溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結(jié)晶形態(tài)好的高質(zhì)量的金剛石單晶和多晶薄膜


關(guān)鍵詞:

MPCVD



MPCVD設(shè)備


上一個

SiC高溫退火設(shè)備

在線咨詢

提交留言